Проектирование и сборка электронных изделий требует поддержания определенных производственных условий, предусмотренных различными стандартами и требованиями. От климатических показателей зависит не только самочувствие сотрудников и нормальное функционирование оборудования, но и работоспособность самих электронных компонентов.
Значение микроклимата на микроэлектронных производствах
Сфера микроэлектроники не перестает стремительно развиваться, элементы и микросхемы совершенствуются и становятся все более компактными. И чем меньше электронные компоненты, с которыми работают сотрудники предприятия, тем выше требования предъявляются к качеству воздуха в помещении. Помещение, в котором осуществляются технологические процессы, должно в достаточной степени проветриваться, воздух должен отличаться особой стерильностью и иметь оптимальные показатели температуры и влажности. Контроль и поддержание определенных показателей микроклимата позволяет предотвратить оседание загрязняющих частиц на микросхемы, возникновение брака, вызванного резким перепадом температур или образованием излишней влаги в рабочей зоне.
Роль государственных стандартов и нормативов в микроэлектронике
Условия микроэлектронного производства, как и любого промышленного предприятия, регулируются государственными стандартами. Эти стандарты определяют чистоту помещения и производственных зон, нормативы расхода сырья и рабочих сред, этапы производства и многое другое. Разработка подобных документов направлена на достижение оптимальных показателей, необходимых для минимизации поступления, выделения и оседания загрязняющих частиц в рабочем пространстве, а также на улучшение технологических процессов производства. Стандарты и нормативы позволяют контролировать параметры микровлажности технологических газов, температуры воздуха, давления, относительной влажности.
Относительная влажность воздуха имеет особое значение для предприятий микроэлектроники. Ее контроль необходим не только для поддержания оптимальных условий производства, при которых исключается пересыхание или, наоборот, излишнее увлажнение компонентов, но и для выполнения определенных задач. Так с помощью регуляции влажностных показателей можно уменьшить количество пыли в воздухе, сделать ее менее летучей, создать благоприятную среду для обработки и хранения микросхем, пластин и т. д.
Требования к показателям влажности воздуха на микроэлектронных производствах
Относительная влажность воздуха – неотъемлемая и важная часть микроклимата помещений. С ее помощью достигаются особые условия, отвечающие требованиям комфортного пребывания специалистов и безопасной работы. Для объектов, взаимодействующих с микроэлектронным оборудованием, оптимальный уровень влажности составляет 40-50 % при температуре воздуха 20-22 °С.
Контрольно-измерительное оборудование для микроэлектроники
Для контроля и регулирования микроклиматических показателей, а также микровлажности неагрессивных газов, электронная промышленность задействует широкий спектр контрольно-измерительного оборудования: термометры, барометры, пылемеры, термогигрометры, а также гигрометры, такие как ИВГ-1 /2-Щ2-YP-ZA.
При работе с электронными элементами возможно применение как стационарных (например, гигрометр ИВГ-1 /1-С-2А), так и портативных вариантов исполнения приборов. Первые позволяют автоматически осуществлять диагностику, непрерывный контроль и регулирование (модели с функциями встроенного реле «Р») микровлажности неагрессивных газовых смесей с последующей регистрацией полученных замеров в установленных контрольных точках. Приборы в переносном варианте, типа ИВГ-1 К-П, чаще всего используют для периодического измерения и регистрации микровлажности в различных помещениях, без привязки к определенной зоне.
Применение современных и надежных гигрометров в микроэлектронике сопровождается рядом преимуществ:
- высокая точность и оперативность полученных измерений;
- возможность эксплуатации как стационарного, так и мобильного оборудования;
- фиксация данных замеров в памяти устройства;
- простота использования;
- исполнения приборов, позволяющие эксплуатировать их в различных условиях.
