Сферы применения

Измерение микровлажности азота в технологии микроэлектроники

13.11.2015

Следует отметить, что уровень развития микроэлектронных технологий в экономической политике России определяет степень научно-технического прогресса страны. Тем более, в условиях приоритетного направления импортозамещения.

На сегодняшний день микроэлектронная промышленность России переживает период стагнации, что негативно влияет как на экономику страны в целом, так и на ее обороноспособность. Поэтому одной из приоритетных задач экономической политики России является поддержка отечественной микроэлектроники и обеспечение рынка конкурентной и высокотехнологичной продукцией. Для того чтобы добиться уверенного доминирования в данной отрасли по сравнению с зарубежными производителями, в России с 2013 года действует государственная программа по развитию электронной и радиоэлектронной промышленности.

В рамках данной программы будет осуществляться не только масштабная работа по внедрению новых разработок и технологий, но и увеличение производственных мощностей. Что, в свою очередь, влечет за собой необходимость обеспечения всех этапов производства микроэлектронной продукции качественным отечественным оборудованием и расходными материалами. Особые требования будут предъявляться к контрольно-измерительным приборам, контролирующим параметры микроэлектронного производства.

Не смотря на ограниченное финансирование отрасли, в последнее время, в соответствии с государственной программой поддержки, наблюдается ускоренное освоение нового поколения микроэлектронных технологий. Модернизирован ряд микроэлектронных производств, начата реализация центров проектирования проблемно-ориентированных сложнофункциональных БИС типа «система на кристалле» на базе ведущих системных предприятий-разработчиков РЭА. Создаются базовые промышленные технологии микроэлектроники уровней 90 нм и ниже.

Для того чтобы обеспечить все предприятия микроэлектронной промышленности России технологическим оборудованием, поддерживающим 180-90 нм (по сравнению с нынешними 0,6-2,5 мкм), а тем более приблизиться к мировому прогрессу (65-45 нм), необходима, как уже говорилось ранее, модернизация всего производства и обеспечение его высокоточным контрольно-измерительным оборудованием.

Рассмотрим пример работы такого оборудования в процессе изготовления субмикронных СБИС. Существует несколько ключевых этапов данного производства, один из которых – процесс диффузии примесей из области высокой в область низкой концентрации в кремниевой пластине.

Диффузионная печь

Магистральный газ (азот), подаваемый в реактор диффузионных печей, должен иметь влажность не ниже 75 0С по т.р. В противном случае будет происходить окисление на СБИС. Причем циркулировать сухой азот в печи должен постоянно, даже если печь находится в состоянии охлаждения. Значит и контроль микровлажности азота, подаваемого в диффузионную печь, должен быть непрерывным и высокоточным. Это является необходимым требованием к процессу, соблюдение которого способствует максимальному увеличению выхода годных изделий.

Измеритель микровлажности азота – стационарный прецизионный прибор серии ИВГ-1 - на протяжении многих лет используется предприятиями микроэлектроники для контроля влажности азота в процессе диффузии, а также на других технологических этапах производства СБИС. Являясь отечественной разработкой, данный прибор оптимально подходит для использования его в микроэлектронной промышленности в рамках программы ее модернизации и развития.

Гигрометр ИВГ-1 может быть одно- и многоканальным. Он поддерживает работу с компьютером для ведения статистики процесса по нескольким различным протоколам обмена, в том числе Modbus. Измерители микровлажности газа ИВГ-1 сертифицированы и допущены к применению не только на территории России, но также в Азербайджанской Республике, в Республике Казахстан и Республике Узбекистан. ИВГ-1 могут выпускаться во взрывозащищенном исполнении.

Несмотря на то, что ИВГ-1 – профессиональный гигрометр, цена его выгодно отличается от зарубежных аналогов. Дело в том, что данный прибор является отечественной разработкой и производится в России. Поэтому его элементная база, в основном, состоит из российских комплектующих, что позволяет поддерживать стоимость ИВГ-1 намного ниже, чем у импортных изделий. Этот надежный и недорогой гигрометр можно купить в Москве, а также заказать его доставку в любой регион России.

ИВГ-1/8-С

Сделать заказ Вы можете по телефонам, указанным на нашем сайте, либо в электронном виде. Мы являемся производителем приборов ИВГ-1, поэтому всегда сможем предложить Вам нашу продукцию по наиболее выгодной цене, а также модернизировать ее под любые Ваши производственные задачи.

 

В Зеленограде
Температура, °C: 8.4
Влажность, %: 96.8
Давление, мм.рт.ст.: 745
В офисе «ЭКСИС»
Температура, °C: 23.3
Влажность, %: 36.8
очистить список
 
Чтобы добавить товар к сравнению, нажмите на ссылку "Сравнить"
Биржевые курсы
00.00
00.00
 

25 лет на рынке контрольно-измерительных приборов

российское производство КИП

собственный научно-исследовательский центр

выгодные цены от производителя

изготовление приборов под ваши уникальные задачи